부천산업진흥원, ㈜인포비온, ‘2026 KES 이노베이션 어워즈’ 수상
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부천산업진흥원, ㈜인포비온, ‘2026 KES 이노베이션 어워즈’ 수상

고진공 박막 증착 기술로 부천시 중소기업의 기술 경쟁력 입증

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㈜인포비온, ‘2026 KES 이노베이션 어워즈’ 수상
[NWS방송=허은서 기자]부천산업진흥원은 지난 10월 13일부터 16일까지 서울 코엑스에서 개최된 ‘2026 KES(한국전자전)’에 부천시 9개사가 참여했으며, 참가기업인 ㈜인포비온이 ‘2026 KES 이노베이션 어워즈’ 전자부품소재 부문에서 수상했다고 밝혔다.

올해로 57회를 맞은 한국전자전은 전자·IT 산업 종합 전시회다. KES 이노베이션 어워즈는 혁신적이고 창의적인 기술과 제품을 보유한 기업을 발굴하기 위한 시상으로, AX, 로보틱스, 모빌리티, 디지털헬스·라이프, XR·공간컴퓨팅, 전자부품소재 부문별로 혁신성·시장성·디자인성·지속가능성을 평가해 수상작을 선정한다.

인포비온의 수상 제품은 고진공 박막 증착 기술을 적용한 ‘싸이클릭 전자빔 보조 스퍼터링 시스템(CEBAS, Cyclic Electron Beam Assist Sputter)'이다. 고진공 환경에서 전자빔으로 공정 가스를 이온화하고, 생성된 이온을 타겟에 충돌시켜 박막을 형성하는 시스템으로, 고밀도·저손상 박막 형성을 목표로 개발됐다.

CEBAS는 플라즈마 생성 영역과 기판 증착 영역을 시간적·공간적으로 분리해 기판과 박막의 직접적인 플라즈마 노출을 최소화한다. 이를 통해 기존 스퍼터링 공정에서 발생할 수 있는 표면 손상과 전기적·광학적 특성 저하를 줄이는 데 중점을 뒀다는 것이 회사 측 설명이다.

이번 수상은 정밀 박막 공정 분야에서 축적해 온 인포비온의 기술 역량과 첨단 제조 분야로의 확장 가능성을 보여주는 성과다.

부천산업진흥원 신동학 원장은 “이번 수상은 첨단 제조 분야에서 기업이 꾸준히 축적해 온 기술개발 역량을 보여주는 성과”라며 “우수한 기술을 보유한 기업들이 국내외 시장에서 경쟁력을 높일 수 있도록 실질적인 지원을 이어가겠다”고 밝혔다.
=허은서 기자

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