¸ÓÅ©(Merck) ¾È¼º°øÀå ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¿¬±¸¼Ò °³¼Ò½Ä Âü¼® ¹ÝµµÃ¼ ¹è¼± °ü·Ã Àüó¸® °øÁ¤ °ü·Ã 900¸¸ À¯·Î(¾à 120¾ï¿ø) ÅõÀÚ =Çѽ¸ñ ±âÀÚ |
2024³â 10¿ù 11ÀÏ(±Ý) 11:49 |
|
|
¸ÓÅ© ÀÏ·¹Æ®·Î´Ð½º´Â °æ±âµµ ³» ½ÃÈ, ¹Ý¿ù, Æ÷½Â ¹× ¾È¼º »ç¾÷Àå¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç Á¦Á¶ ºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÏ¿© ÅõÀÚ¸¦ ÇØ¿ÔÀ¸¸ç, Çѱ¹¿¡¼ 2027³â±îÁö ¾à 6¾ïÀ¯·Î¸¦ ÅõÀÚÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
¾È¼º ¸ÓÅ©ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º´Â 1998³â¿¡ ¼³¸³µÇ¾î ¾à 120¸íÀÌ ±Ù¹«ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¡®22³â¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç EUV¸°½º ºÐ¾ß¿¡ ÅõÀÚ(¾à83¾ï¿ø) ÀÌÈÄ À̹ø SoD(Spin on Dielectric) ¿¬±¸¼Ò¸¦ Ãß°¡ ÅõÀÚ(¾à120¾ï¿ø) ÇÏ¿´´Ù. SoD ¿¬±¸¼Ò´Â ¡®22³â 8¿ùºÎÅÍ ¡®24³â 10¿ù±îÁö ¾È¼º°øÀå ³» ¾à 390§³ ºÎÁö¿¡ Á¶¼ºÇÏ¿´°í ¹ÝµµÃ¼ ¹è¼± °ü·Ã Àüó¸® °øÁ¤ Á¦Ç°°³¹ß ¹× ÀÀ¿ë Å×½ºÆ®ÀÇ ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
±èº¸¶ó ½ÃÀåÀº ¡°¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Çõ½ÅÀ» ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Â ¸ÓÅ© ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½ºÀÇ ¿¬±¸¼Ò °³¼Ò¸¦ ÃàÇϵ帮°í µ¿½Å ÀϹݻê¾÷´ÜÁö°¡ ¼ÒºÎÀå ƯȴÜÁö·Î ÁöÁ¤µÇ¾î ¾È¼º½ÃÀÇ ÅõÀÚȯ°æÀÌ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î °³¼±µÇ°í ÀÖ´Ù¸ç, ¸ÓÅ©»ç¿¡°Ô ¼ÒºÎÀå ƯȴÜÁö ³» ÅõÀÚ¸¦ Á¦¾ÈÇÏ¿´À¸¸ç ÅõÀÚ °ËÅä½Ã Àû±ØÀûÀ¸·Î ÇàÁ¤Àû Áö¿øÀ» ÇÏ°Ú´Ù.¡±°í ¸»Çß´Ù.