´ëÀü½Ã EUV °Ë»ç±â Àåºñ ±â¼ú ¹× ÀÎÇÁ¶ó ±¸Ãà °ø¸ð ¼±Á¤ EUV °øÁ¤¿ë ¼ÒºÎÀå ¼º´É°ËÁõÆò°¡¼¾ÅÍ ±¸Ãà µî¡¦ ±¹ºñ 100¾ï È®º¸ =Çѽ¸ñ ±âÀÚ |
2024³â 05¿ù 17ÀÏ(±Ý) 08:26 |
|
|
À̹ø »ç¾÷Àº 2024³âºÎÅÍ 2028³â±îÁö 5³â°£ ÃßÁøµÇ¸ç, ±¹ºñ 100¾ï ¿ø, ½Ãºñ 22¾ï ¿ø, ¹Î°£ ºÎ´ã±Ý 21¾ï ¿ø ÃÑ 143¾ï ¿øÀÌ ÅõÀԵȴÙ.
°ø¸ð ¼±Á¤¿¡ µû¶ó Çѱ¹Ç¥ÁØ°úÇבּ¸¿ø(¿øÀå ÀÌÈ£¼º)ÁÖ°ü ¾Æ·¡ ´ëÀüÅ×Å©³ëÆÄÅ©, ¹ÝµµÃ¼¿¬±¸Á¶ÇÕ, ±¤¿î´ëÇб³, Àü³²´ëÇб³ µîÀÌ Âü¿©ÇÏ¿© EUV °øÁ¤¿ë ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °³¹ßÇ°¿¡ ´ëÇÑ ¼º´É ¹× ½Å·Ú¼º °ËÁõ, ½ÇÁõ Æò°¡ µîÀ» ´ã´çÇÒ ¼º´É°ËÁõÆò°¡¼¾Å͸¦ ±¸Ãà, ¼ÒºÎÀå ±â¾÷ÀÇ ±â¼ú»ç¾÷ȸ¦ Áö¿øÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
À̹ø »ç¾÷À» ÅëÇØ ´ëÀü ¼ÒÀç ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷Àº ÀÎÁõÆò°¡¼ºñ½º ÀÌ¿ë ½Ã ºñ¿ë 50% °¨¸é ÇýÅðú ±â¼ú ÀÚ¹®À» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ¾î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå °ü·Ã Áö¿ª ±â¾÷ ¼ºÀå¿¡ ¼Óµµ°¡ ºÙÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
ÇѼ±Èñ ´ëÀü½Ã Àü·«»ç¾÷ÃßÁø½ÇÀåÀº ¡°Ã⿬¿¬ÀÇ ¿ì¼öÇÑ ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ´ëÀü ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå ±â¾÷ÀÇ ±â¼ú »ó¿ëÈ°¡ È°¹ßÈ÷ ÀÌ·ç¾îÁú °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù¡±¶ó¸é¼ ¡°Ã·´Ü¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½ÉÀÎ EUV ½ÃÀå¿¡ ´ëÀü ±â¾÷ÀÌ ÁøÃâÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¾ÕÀ¸·Îµµ Áö¿øÀ» ¾Æ³¢Áö ¾Ê°Ú´Ù¡±¶ó°í ¹àÇû´Ù.
°»ó¿ì Ç¥ÁØ¿¬ Àü·«±â¼ú¿¬±¸¼ÒÀåÀº ¡°¿Ü±¹ÀÌ µ¶Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Â EUV ±â¼úÀ» ±¹»êÈÇϱâ À§ÇØ ±¹³» óÀ½À¸·Î Stand-alone °Ë»çÀåºñ È°¿ë EUV ¼ÒºÎÀå °ËÁõÀÎÇÁ¶ó°¡ ±¸ÃàµÇ´Â »ç¾÷À¸·Î¼ ÀÇÀÇ°¡ Å©´Ù¡±¶ó¸ç ¡°¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå »ê¾÷ À°¼º¿¡ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù¡±¶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí, ´ëÀü½Ã´Â ±¹³» ÃÖÃÊ·Î Stand-alone EUV Æò°¡½Ã½ºÅÛ È°¿ë ¼ÒºÎÀå ¼º´É°ËÁõ ¹× lab to pilot scale-up ÀüÁÖ±â Áö¿ø ÀÎÇÁ¶ó¸¦ ±¸ÃàÇÏ¿© °íºÎ°¡°¡Ä¡ EUV ½Å½ÃÀå »ê¾÷À» À°¼ºÇÏ°í À̸¦ ¹ßÆÇ »ï¾Æ ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ Çõ½Å»ýÅÂ°è °ÅÁ¡ µµ½Ã·Î µµ¾àÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
Ç¥ÁØ¿¬ ³»¿¡ EUV ¼ÒºÎÀå ¼º´É°ËÁõÆò°¡¼¾Å͸¦ ¼³¸³ÇÏ¿© ¡ãZ-Pinch EUV ±¤¿ø ¡ãLPP EUV ±¤¿ø ¡ãHHG EUV ±¤¿ø ¡ãEUV °¨µµ °Ë»ç±â ¡ãEUV ÆÄ¿ö ÃøÁ¤±â ¡ãEUV ºÐ±¤±â ¡ãÆ縮Ŭ Åõ°úÀ² ÃøÁ¤±â ¡ãEUV ¹Ý»ç°æ ÃøÁ¤¿ë Áø°øè¹ö µî ÁÖ¿ä Àåºñ¸¦ ±¸ÃàÇÑ´Ù.
À̸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇØ¿Ü Ç¥Áرâ°ü°ú Çù·ÂÇÏ¿© EUV ¼ÒºÎÀå ½ÃÇèÆò°¡ ±¹Á¦Ç¥ÁØÀ» È®¸³ÇÏ°í, EUV °Ë»ç±â Ç÷§ÆûÀ» È°¿ëÇÑ ½ÃÁ¦Ç° Á¦ÀÛÁö¿ø, ±â¼úÁöµµ ¹× ½ÇÁõÁö¿øÀ» ÅëÇØ ±¹³» EUV ¼ÒºÎÀå ±â¾÷ ±â¼ú ¼±µµ¸¦ Áö¿øÇÑ´Ù´Â ±¸»óÀÌ´Ù.